クライオポンプ修理(オーバーホール)

横浜市鶴見区 半導体製造装置 修理(オーバーホール)に二通りの方法で対応しております。

□ リペアー方式

予備ポンプをお持ちの場合に適した方式です。
修理(オーバーホール)品を弊社に送って頂き、所定の修理(オーバーホール)作業を行い検査合格後返却致します。
通常、オーバーホールの所要日数は弊社到着後20日間です(但し、状況により異なります)。


□ エクスチェンジ方式

緊急での修理(O/H)の場合や予備ポンプが無い場合に適しております。
御社でのポンプ交換に合わせて、弊社所有のオーバーホール済みポンプを送付致します。

※エクスチェンジ対応可能ポンプ
HELIX : Helix CT-8/OT-8/OB-8F(φ3)/RETROFAST
ANELVA :CAP-80MKⅡ/CAP-120MKⅡ/CAP-121MKⅡ
※その他のポンプに付きましては、御相談下さい。


横浜市鶴見区 半導体製造装置 クライオポンプO/H作業フロー




アドゾーバーの再生

横浜市鶴見区 半導体製造装置 アドゾーバー再生は全メーカー・全モデルに対応致します。

クライオコンプレッサーで使用しているアドゾーバーを使い捨てにすることなく、低価格で再生を致します。

アドゾーバー内の活性炭は新品に交換します。
横浜市鶴見区 半導体製造装置


オーバーホール仕様

横浜市鶴見区 半導体製造装置 (HELIX) On-Board

横浜市鶴見区 半導体製造装置 (ANELVA/HELIX)CAP・CT



ポンプの検査基準

横浜市鶴見区 半導体製造装置 On-Boardポンプの検査内容

横浜市鶴見区 半導体製造装置 その他のポンプの検査内容





ポンプの保障

保障内容:弊社の責に依る冷凍能力不具合に対し保障致します。

保証期間:弊社出荷日より1年間を保証期間とします。
但し、保証期間内に交換もしくは修理した場合、その保障修理に対する保障期間は残日数(1年間の残り)と致します。

除外項目:
1)弊社がO/H修理した部分以外の故障及び損傷
2)クライオポンプの真空部の極度な汚染による性能劣化
3)お客様に責が有る場合
4)火災、地震等の天災地変による故障及び損傷
5)その他、保障内容外


サービス対応

■ 不具合発生時
原因解析を必要とする場合、解析に基づいた不具合報告書を提出致します。

■ オプション対応
1)パーシャルオーバーホール(真空室内のみ等、必要な個所のみのO/H)
2)ガス負荷テストなどの特別なテスト
3)真空保管での出荷

■ 技術サポート
クライオ使用中に発生するポンプ及び真空に関する不具合、問題点などの真空に関する技術的サポートを致します。

■ ポンプ取外し、取付作業の請負
御客様のご依頼によりエンジニアを派遣し、取付及び動作確認までの作業、アドゾーバー・コンプレッサーの交換作業も行います。


株式会社SGC

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     神奈川県川崎市幸区南加瀬3-6-34
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